主要特长
- 搭载本公司独创的镜面光学系统爆光灯房（LAMP HOUSE）。从而实现了照射面内的均匀性以及高照度。
- 采用本公司独创的同轴对位方式和高速图像处理技术, 从而实现了高精度对位。还支持IR方式和背面方式。
- 通过本公司独创的光学式间隙传感器，可在非接触状态下高速、精确的设定掩膜和基板间的近接间隙。
- 搭载有掩膜更换机。最多可自动更换20张掩膜。
- 最多可搭载3台片仓（Load port）。
主要规格
| MA-5301ML | |
|---|---|
| Wafer尺寸 | Ø300ｍｍ |
| 对位 | 非接触预对位～自动对位 |
| 光源 | 超高压水银灯：3.5kW |
| 本体尺寸 | W 2450 × D 2400 × H 2300 mm |
