主要特长
- 非常适用于实验・研发之用途。
- 紧凑型设计(600×600mm)，可在桌面上安装使用。
- 搭载UV LED爆光灯房标准（有效曝光范围φ4″）。
- 接触式曝光模式（可支持其他的曝光模式，为选购项）。
- 完全手动操作，价格公道合理。
主要规格
| DA-1000 | |
|---|---|
| Wafer Size | Ø2″ , Ø3″ and max. Ø4″ |
| Mask Size | 5″ x 5″ |
| Alignment Scope | 8 times |
| Lamp House | UVLED (365 nm or 405 nm) |
| Illumination Intensity | Max. 14 mW /㎠ (365 nm) or Max. 20 mW /㎠ (405 nm) |
