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有机EL基板用封止装置

有机EL照明和有机EL显示器封止工艺中对应Glass Cap生产的封止装置。
从装载到卸载自动搬送,各单元内部环境H2O、O2均达到1PPM以下。
处理工程:主要进行Glass Cap的清洁、封条剂与充添剂的涂布、蒸镀基板与Glass Cap的贴封(密封)。
通过与其他公司蒸镀装置的联机,可实现从成膜到密封的连续生产。

主要特长
  • 在蒸镀基板与Glass Cap的贴封工程中,采用在曝光装置上积累的对位技术、平行补正技术、位置控制技术。(扩展应用)
  • 根据群组型单元设计构想,能够极大限度地控制因保养等带来的环境变化。
  • 根据客户使用的Glass Cap、封条剂及充填剂等设计相对应的系统构成。
  • 装置内部H2O、O2均达到1PPM以下,达到适合有机EL照明及有机EL显示器生产的环境。
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