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适合触摸屏、有机EL、彩色滤光片、STN液晶显示器生产的全自动近接曝光机
适合PDP生产的直立型全自动近接曝光机。
适合触摸屏、有机EL、彩色滤光片、STN液晶显示器生产的直立型全自动近接式曝光装置

化合物半导体用曝光装置(Mask Aligner)

适合LED、LD、Packaging生产的曝光装置

其他量产用曝光装置

适合C-STN、STN、陶瓷电容器、热感应打印头的曝光装置


实验・研究用曝光装置

实验・研究・小批量生产用

胶片用曝光装置

适合软性基板和Roll to Roll的曝光装置

MEMS用曝光装置

适合使用Moving UV mask法的MEMS生产的曝光装置

有机EL基板用封止装置

封止装置ES系列

无掩膜曝光装置

无掩膜曝光装置MX系列

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