其他量产用曝光装置 | 大日本科研 (DNK)

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把涂有光刻胶的基板与掩膜重叠光刻图形的曝光装置。

可进行基板整面一次性曝光的自动近接曝光系统。

适合液晶、陶瓷电容器,热感应打印头等,根据客户需求进行设计。

附有自动对位功能 (MA-4000)

化合物半導体用露光装置

MA-2000～4000系列