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其他量产用曝光装置
FPD用曝光装置
化合物半导体用曝光装置(Mask Aligner)
其他量产用曝光装置
实验・研究用曝光装置
胶片用曝光装置
MEMS用曝光装置
基板用贴合装置
无掩膜曝光装置
把涂有光刻胶的基板与掩膜重叠光刻图形的曝光装置。
可进行基板整面一次性曝光的自动近接曝光系统。
适合液晶、陶瓷电容器,热感应打印头等,根据客户需求进行设计。
附有自动对位功能 (MA-4000)
MA-2000~4000系列