首页 > 技术信息 > 水银灯房的构造
水银灯房的构造
1.超高压水银灯(UV-LED)
发射曝光所需要的紫外线。
Provides the ultraviolet radiation necessary for efficient substrate exposure.
 
2.椭圆镜
有效地聚集放射光。
Ellipsoidal mirror
 
3.分光镜
透过红外线,反射所需要的波长范围。
Dichroic mirror
 
4.复眼透镜
使照射照度均匀。
Fly-eye lens
 
5.球面镜
把照射光变成理想的平行光。
Spherical mirror
返回顶部