实验・研究・小批量生产用
适合LED、LD、Packaging生产的曝光装置
Ø200mm 和Ø300mm兼容曝光机
无掩膜曝光装置MX系列
适合使用Moving UV mask法的MEMS生产的曝光装置
适合软性基板和Roll to Roll的曝光装置
适合平面显示器生产的曝光装置
适合C-STN、STN、陶瓷电容器、热感应打印头的曝光装置
封止装置ES系列
紧凑型设计，可在桌面上安装使用。
