实验・研究用曝光装置

 实验・研究用曝光装置

实验・研究・小批量生产用
化合物半导体用曝光装置(Mask Aligner)

 化合物半导体用曝光装置

(Mask Aligner)

适合LED、LD、Packaging生产的曝光装置
Ø200mm 和Ø300mm兼容曝光机

 Ø200mm 和Ø300mm兼容曝光机

Ø200mm 和Ø300mm兼容曝光机
无掩膜曝光装置

 无掩膜曝光装置

无掩膜曝光装置MX系列
MEMS用曝光装置

 MEMS用曝光装置

适合使用Moving UV mask法的MEMS生产的曝光装置
胶片用曝光装置

 胶片用曝光装置

适合软性基板和Roll to Roll的曝光装置
FPD用曝光装置

 FPD用曝光装置

适合平面显示器生产的曝光装置
其他量产用曝光装置

 其他量产用曝光装置

适合液晶、陶瓷电容器、热感应打印头的曝光装置
基板用贴合装置

 基板用贴合装置

封止装置ES系列
Desktop Mask Aligner

 Desktop Mask Aligner

紧凑型设计，可在桌面上安装使用。